发明名称 OBJECTIVE LENS ASSEMBLY UNIT FOR RASTER ELECTRONIC MICROSCOPE
摘要
申请公布号 KR0172938(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19890001963 申请日期 1989.02.18
申请人 ELECTROSCAN CORP. 发明人 DANILATOS, GERASIMOS D.;LEWIS GEORGE C
分类号 H01J37/06;G01N23/00;G02B21/02;H01J31/28;H01J37/02;H01J37/141;H01J37/16;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/252;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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