发明名称 |
OBJECTIVE LENS ASSEMBLY UNIT FOR RASTER ELECTRONIC MICROSCOPE |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR0172938(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.01 |
申请号 |
KR19890001963 |
申请日期 |
1989.02.18 |
申请人 |
ELECTROSCAN CORP. |
发明人 |
DANILATOS, GERASIMOS D.;LEWIS GEORGE C |
分类号 |
H01J37/06;G01N23/00;G02B21/02;H01J31/28;H01J37/02;H01J37/141;H01J37/16;H01J37/20;H01J37/244;H01J37/252;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/06 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|