一种精密平行度测量方法

摘要

本发明涉及测量技术，具体地说是一种精密平行度测量的方法，即测量被测物体平整表面与参考平面的相对平行度方法。首先将被测物体安装在具有旋转轴的平台上，令该旋转轴与参考平面垂直；配有光源和摄像机作为测量装置，让镜头对准被测物体的侧面，在摄像机上产生投射在被测物体侧面的反射光成像；设横轴u与纵轴v为成像后的图像坐标系，原点定义在成像后的图像中心，其中被测物体上或下平面与其侧面过纵轴的交汇点为检测点；当被测物体绕旋转轴旋转时、在连续采集情况下通过检测点的图像位置测量值来描述被测物体的平面相对参考平面的平行状态，以确定被测物体相对参考平面的不平行度和调整位置。本发明能正确反映被测物体与参考平面之间的平行关系、调节精度高。

主权项

1.一种精密平行度测量方法，其特征在于：将被测物体M可绕旋转轴Z旋转，安装在具有旋转轴Z的平台上，所述旋转轴Z与参考平面W垂直；配有光源和摄像机作为测量装置，让摄像机镜头对准被测物体M的侧面，凭借可以接收的、投射在被测物体M侧面的光源反射成像；设横轴u与纵轴v为成像后的图像坐标系，原点在成像后的图像中心，其中被测物体M上或下平面与其侧面过纵轴v的交汇点为在被测物体M侧面图像的检测点A；当被测物体M绕旋转轴Z旋转时、通过连续图象采集，利用检测点A的图像位置测量值描述被测物体M的平面相对参考平面W的平行状态，从而确定被测物体M相对参考平面W的不平行度和调整位置。