发明名称 制造非及型快闪装置的方法
摘要 本发明揭示一种制造非及型快闪装置的方法,该非及型快闪装置能藉由在形成一P井之一离子植入程序后实行一退火程序,而提高干扰失败特征之均匀度,藉由在控制一临界电压之一离子植入程序后,而在形成一高电压闸极氧化膜之一程序前实行一退火程序,而减少一失败位元计数,并藉由省略一单元区域中之一STI离子植入程序而防止干扰失败。
申请公布号 TW200516726 申请公布日期 2005.05.16
申请号 TW093121154 申请日期 2004.07.15
申请人 海力士半导体股份有限公司 发明人 辛永基
分类号 H01L21/8247 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 韩国