| 发明名称 |
高强度柱状晶矽以及由该高强度柱状晶矽所成之电浆蚀刻装置用零件 |
| 摘要 |
一种高强度柱状晶矽，其晶格间氧浓度系位在1×10#sP!18#eP!～2×10#sP!18#eP!atms╱cm#sP!3#eP!的范围内。 |
| 申请公布号 |
TW200925338 |
申请公布日期 |
2009.06.16 |
| 申请号 |
TW097129399 |
申请日期 |
2008.08.01 |
| 申请人 |
三菱综合材料股份有限公司 |
发明人 |
佐佐木顺一 |
| 分类号 |
C30B29/06(2006.01);H01L21/3065(2006.01) |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
