| 摘要 |
本发明系关于一种具单偏光镜之聚焦光束椭圆测量仪（single-polarizer focused-beam ellipsometer），且更具体而言，系关于一种具有一简化结构之聚焦光束椭圆测量仪，其中由一单个偏振分光镜充当一偏振产生器、一分光镜及一偏振分析器之角色。采用一种量测方法，其中对多个入射角应用一种多入射平面量测方法，因而可分析样本光学特性（即在为一薄膜之情形中，该薄膜之厚度及折射率）之准确资讯。根据本发明之一种椭圆测量仪包含：一光源（210）；一分光部件（beam splitting part）（220），用于将该光源（210）中所产生之一光分离成一偏振光；一物镜（objective lens）（230），用于将该分光部件（220）所分离之光中之某些光集中地照射至一样本（240）上；一光侦测器（photodetector）（250），用于利用复数个单位格子（unit cell）侦测自该样本（240）反射后穿过该物镜（230）及该分光部件（220）之光；以及一处理单元（central processing unit）（260），用于沿360°之多种入射平面通道、针对各个入射角将该光侦测器（250）所侦测之光之强度修正成对应于该光侦测器（250）之单位格子之一值，并处理该修正值。 |
