平面内光学度量衡

摘要

本发明系关于一种构件，其被设置为与一基板上之一测量标的相邻，该构件系用于将自一光学度量衡装置之入射辐射线转换为与该测量标的在同一平面内。该构件可为例如，一光栅或光子晶体，且在该构件与该测量标的之间可包括一波导器。平面内光与该测量标的交互作用并被反射回至该构件，该构件将平面内光转换为藉由该光学度量衡装置接收的平面外光。其后该光学度量衡装置使用来自所接收之光的资讯以决定该测量标的之一个或多个期望参数。若需要，可使用附加构件以接收透射穿过该测量标的或藉由该测量标的所散射之光。