基材加热组件

摘要

本案提供一种于基材处理时可支撑具有预定标准化直径之基材的基材加热器组件。于一实施例中，基材加热组件包含一主体，其具有一上表面、一下表面及一内嵌式加热元件。一基材支撑面系形成在该主体的上表面中并定义出一基材接收袋之一部份。一环形壁系垂直于该上表面且长度至少为该基材厚度的一半。该壁可包围基材接收袋之外径且其直径比该预定基材直径大但不超过0.5毫米。