发明名称 Method of packaging semiconductor devices and apparatus for performing the same
摘要 길게 연장하는 테이프 형태를 갖고 연장 방향으로 배열된 패키징 영역들을 포함하는 플렉서블 기판 상에 탑재된 반도체 소자들을 패키징하는 방법에 있어서, 상기 패키징 영역들 중에서 반도체 소자가 탑재되지 않은 빈 영역을 검출하고, 상기 빈 영역이 검출된 경우 상기 빈 영역을 제외한 나머지 패키징 영역들 상에 탑재된 반도체 소자들 상에 방열 도료를 도포하여 제1 방열층들을 형성한다. 상기 빈 영역이 검출되지 않은 경우 상기 패키징 영역들 상에 탑재된 반도체 소자들 상에 상기 방열 도료를 도포하여 제2 방열층들을 형성한다. 상기 제1 방열층들은 포팅 공정에 의해 형성되며, 상기 제2 방열층들은 스크린 프린팅 공정에 의해 형성된다.
申请公布号 KR101677323(B1) 申请公布日期 2016.11.17
申请号 KR20140055232 申请日期 2014.05.09
申请人 주식회사 동부하이텍 发明人 김준일;김성진;김학모
分类号 H01L21/67;H01L21/48;H01L23/00;H01L23/373 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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