磁控电弧离子镀膜法

摘要

本发明应用磁控电弧离子镀膜装置，以磁场控制的电弧燃烧使各种金属、合金等镀膜材料蒸发，电离，变成高能量、高密度的等离子体，在工件负偏压的条件下，与通入的氧气、乙炔气等反应，可在金属或非金属工件上产生不同颜色的金属或化合物薄膜沉积。本发明可镀工件范围广，特别是用于工艺品镀膜，色彩鲜艳，耐用抗磨，成本低，生产效率高，有广泛的使用领域。

主权项

1、一种磁控电弧离子镀膜法，使用磁控离子镀膜装置，将装置内抽真空，对镀膜材料(阴极)施以特定磁场和屏蔽，使其蒸发、电离、加速变成高能量、高密度的等离子体再对工件施加负偏压和通入反应气体，等离子体与通入的反应气体作用，在工件表面沉积成膜，其特征是；1).反应前，控制装置的真空度为(1～5)10-3Pa，2).镀膜材料(阴极)可采用金属、合金靶极或石墨靶极，3).反应气体可为氩气(Ar)、氮气(N2)、氧气(O2)、乙烯、乙炔，4).控制靶极燃烧的弧流为(60～500)安培，对工件施加的负偏压为(-20～-500)V。