| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0371668(A) |
申请公布日期 |
1991.03.27 |
| 申请号 |
JP19890206787 |
申请日期 |
1989.08.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UCHIDA AKIHISA;USAMI MASAMI;OGIUE KATSUMI;KOIZUMI TORU |
| 分类号 |
H01L27/082;H01L21/8222;H01L21/8229;H01L27/102 |
主分类号 |
H01L27/082 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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