发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0749368(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19930194506 申请日期 1993.08.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NOZUYAMA YASUYUKI;MIYATA MISAO
分类号 G01R31/28;G01R31/30;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/06;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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