发明名称
摘要
申请公布号 JP2560030(B2) 申请公布日期 1996.12.04
申请号 JP19870112967 申请日期 1987.05.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KONO MASANOBU;NISHIZAWA TAKESHI
分类号 H01L21/31;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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