发明名称 METHOD OF DEPOSITING CU SELECTIVELY
摘要
申请公布号 KR0157889(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950021856 申请日期 1995.07.24
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 KIM, JAE-JUNG
分类号 C25D7/12;C25D5/02;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H05K3/10;H05K3/38;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 C25D7/12
代理机构 代理人
主权项
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