发明名称 |
METHOD OF DEPOSITING CU SELECTIVELY |
摘要 |
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申请公布号 |
KR0157889(B1) |
申请公布日期 |
1999.02.01 |
申请号 |
KR19950021856 |
申请日期 |
1995.07.24 |
申请人 |
LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. |
发明人 |
KIM, JAE-JUNG |
分类号 |
C25D7/12;C25D5/02;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H05K3/10;H05K3/38;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
C25D7/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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