发明名称 Method for removing carbon-containing residues from a substrate
摘要
申请公布号 EP1619267(A3) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20050015747 申请日期 2005.07.20
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 JOHNSON, ANDREW DAVID;SUBAWALLA, HOSHANG;JI, BING;VRTIS, RAYMOND NICHOLAS;KARWACKI, EUGENE JOSEPH, JR.;RIDGEWAY, ROBERT GORDON;MAROULIS, PETER JAMES;O'NEILL, MARK LEONARD;LUKAS, AARON SCOTT;MOTIKA, STEPHEN ANDREW
分类号 C23C16/44;B08B7/00;H01L21/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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