射频电感耦合等离子体发生天线

摘要

本实用新型属于低温等离子体技术领域，具体为一种射频电感耦合等离子体发生天线。本天线采用三维螺旋线型结构设计，在顶部电感耦合情况下，射频天线内外线圈和耦合介质板的距离是变化的。根据装置特点有两种变化方式：其一为由内向外天线和介质板的距离依次递减；其二为由内向外天线和介质板的距离依次递增，并根据装置实际情况调整至适当值。该天线可以多个组合起来使用进一步提升效果。该新型射频电感耦合等离子体发生天线在顶部电感耦合情况下可以提高等离子体的径向均匀性。本天线设计简单、成本适中，具有传统射频天线不具有的优势，可以应用于微电子制造、仪器制造等工业领域。

主权项

1.一种射频电感耦合等离子体发生天线，其特征在于：为三维螺旋线型结构，对应顶部电感耦合情况，天线(1)的内外线圈和耦合介质(2)之间的距离是变化的。