软板固持装置

摘要

本发明涉及一软板固持装置。该软板固持装置包括吸气装置及与吸气装置相连通之第一承载装置。该第一承载装置具有第一空腔，并包括第一承载部。该第一承载部开设有复数与第一空腔相连通之第一通孔。该软板固持装置还包括至少一第二承载装置。该至少一第二承载装置设于第一承载部，并具有第二承载部。该第二承载部开设有复数第二通孔。该第二通孔与第一通孔相连通，且第二通孔之尺寸小于第一通孔之尺寸。