正支共焦非稳腔腔内像差探测系统

摘要

正支共焦非稳腔调腔和像差探测系统，其特征在于：它由He-Ne光源、正支共焦非稳腔腔镜、光束匹配望远镜、哈特曼-夏克波前传感器、四向限强度传感器、图像采集卡，计算机组成，其中正支共焦非稳腔腔镜由45°反射镜组、耦合输出镜，凸面反射镜、凹面反射镜构成。采用本发明所述基本原理能够精确实现光腔快速调腔共轴，并对腔内像差进行探测、分析处理和判断，并且本发明中采用的哈特曼-夏克波前传感器还具有结构简单、使用方便、抗干扰能力强等优点，像差分析软件则具有实时性好、便于实施腔内像差动态探测的优点。

主权项

1、正支共焦非稳腔腔内像差探测系统，其特征在于：它由He-Ne光源(1)、正支共焦非稳腔腔镜、光束匹配系统(6)、哈特曼-夏克波前传感器(7)、四象限强度传感器(8)、分光镜(9)、数据处理分析计算机(10)组成，其中正支共焦非稳腔腔镜由45°反射镜组(2)、耦合输出镜(3)，凸面反射镜(4)、凹面反射镜(5)构成，He-Ne光源(1)在45°反射镜组(2)之前，45°反射镜组(2)中第一反射镜(21)和第二反射镜(22)之间的夹角为90°，所述的第一反射镜(21)上开有Φ1.5mm的小孔；凸面反射镜(4)位于凹面反射镜(5)之前，耦合输出镜(3)位于凸面反射镜(4)之前；分光镜(9)位于耦合输出光束前方，四象限强度传感器(8)位于分光镜(9)的透射方向，光束匹配系统(6)位于分光镜(9)的反射方向，光束匹配系统(6)的输出经过哈特曼-夏克波前传感器(7)送至数据处理分析计算机(10)中，同时四象限强度传感器(8)的测量结果输出也送至数据处理分析计算机(10)中。