发明名称 蒸、溅镀机之对位机构
摘要 本创作系有关一种蒸、溅镀机之对位机构,主要由动力缸之轴杆成型有与轴杆垂直之锁定座,于锁定座上设有复数锁孔,而以轴杆动作对应穿过治具之穿设孔而转向锁设定位,藉此,以锁定座本身与轴杆呈垂直度,使其锁定座与治具对应锁固可达到完全的水平位置,如此可避免在对位过程中,因机构水平度及垂直度不佳而造成对位偏差者。
申请公布号 TWM270485 申请公布日期 2005.07.11
申请号 TW093205406 申请日期 2004.04.09
申请人 蔡俊毅 发明人 蔡俊毅
分类号 H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人 石继志 高雄市苓雅区四维四路7号4楼E室
主权项 一种蒸、溅镀机之对位机构,该对位机构主要系由动力缸之第一、第二及第三轴杆及第一、第二及第三治具所构成,其中:于动力缸之第一、第二及第三轴杆上成型有与第一、第二及第三轴杆相互垂直之第一、第二及第三锁定座,而于第一、第二及第三锁定座上各设有复数锁孔,其中第二及第三轴杆之锁定座系呈具有复数凸伸块之形体,且锁孔则设于凸伸块上;该第一、第二及第三治具系以撑杆而将其组成,且使各治具间具有适当距离,于第一、第二及第三治具上系各设有穿设孔及锁孔,而其中第二及第三治具之穿设孔形状系依第二及第三轴杆之锁定座之凸伸块形状而设,使其形成有复数凸穿槽,且锁孔恰设于二相邻凸穿槽之间;藉此,以动力缸之第一轴杆锁定座之锁孔对应第一治具之锁孔而锁固,而第二及第三轴杆之锁定座系对应穿过第二及第三治具之穿设孔而转向,使第二及第三轴杆锁定座之锁孔对应第二及第三治具之锁孔而锁固,如此使各轴杆之锁定座本身与轴杆呈垂直度,使其锁定座与治具对应锁固可达到完全的水平定位者。图式简单说明:第一图:本创作之立体分解示意图。第二图:本创作动作示意图(一)。第三图:本创作之锁定座与穿设孔组装之平面动作示意图(一)。第四图:本创作之锁定座与穿设孔组装之平面动作示意图(二)。第五图:本创作之组合示意图。第六图:习知之立体分解示意图。第七图:习知之动作示意图(一)。第八图:习知之动作示意图(二)。
地址 台南县安定乡保西村385之2号