| 摘要 |
本発明は基板検査際の補償マトリックス生成方法を提供する。前記方法は基板上の測定領域ＦＯＶ内で任意で予め設定されたＮ１（Ｎ１≧２）個の特徴客体の情報を選択する段階と、前記基板上の抽出された特徴客体の情報に基いて第１補償マトリックスを生成する段階と、前記補償マトリックスに前記測定領域内の全ての特徴客体を適用して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値と予め設定された基準値を比較して前記全ての特徴客体の個数をカウントする段階と、前記段階をＮ２回（Ｎ２≧１）繰り返し遂行し、前記カウントされた特徴客体の個数が最大である場合において前記予め設定された基準値未満のオフセット値を有する特徴客体の情報を用いて第２補償マトリックスを生成する段階と、を含む。 |
