半导体界面态变频C-V测量仪

摘要

本实用新型为半导体界面态参数测量仪，它产生正交信号另与斜坡电压信号叠加后施加在样品上，样品上取出的信号经电流放大后输至锁相放大器放大输出至记录装置。锁相放大器中积分电路的模拟开关由与正弦或余弦信号同频率及位相的方波信号控制。本实用新型在测试中同时考虑到电容及电导参量，对样品的漏电流要求不高，同时提高了测量精度，兼具高频C-V准静态C-V等测量仪的功能。

主权项

1、一种半导体界面态参数测量仪，由外壳，测试信号产生装置及经样品后信号放大装置等组成，产生的信号施加在样品上，样品上信号经锁相放大器放大输出， 其特征是测试信号装置为产生正弦及余弦信号的正交振荡器的斜坡电压发生器，正交振荡器输出正弦信号及经移相电路移相π/2的余弦信号，同时由正弦或余弦信号控制产生相同频率的两种位相差π/2的方波信号控制锁相放大器的积分开关，正交信号之中的一种正弦或余弦信号加上斜坡电压施加在样品上，样品上信号经锁相放大器放大输出。