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发明名称
SEMICONDUCTOR TEST DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05134003(A)
申请公布日期
1993.05.28
申请号
JP19910328123
申请日期
1991.11.14
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SHIMAZAKI MASAMITSU
分类号
G01R31/26;G01R31/28;G01R31/319;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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