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发明名称 SILICIDE PLUG FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0661178(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920229487 申请日期 1992.08.06
申请人 SONY CORP 发明人 SUMI HIROBUMI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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