发明名称 |
PLASMA FILM FORMING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06330295(A) |
申请公布日期 |
1994.11.29 |
申请号 |
JP19930121595 |
申请日期 |
1993.05.24 |
申请人 |
NIPPON LASER DENSHI KK |
发明人 |
YONEDA KATSUMI;TAJIMA HARUO;TANAKA AKIRA |
分类号 |
C23C14/32;C23C14/24;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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