| 发明名称 |
NOZZLE SYSTEM FOR SUPPLYING TREATING LIQUID |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1128412(A) |
申请公布日期 |
1999.02.02 |
| 申请号 |
JP19970243029 |
申请日期 |
1997.09.08 |
| 申请人 |
TATSUMO KK |
发明人 |
KAWAKAMI KAZUYUKI;IMAI TOSHINORI |
| 分类号 |
G03G15/10;B05C5/00;B05C5/02;B05C11/10;G03F7/30;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/306;(IPC1-7):B05C11/10 |
主分类号 |
G03G15/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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