| 发明名称 |
RF plasma enhanced CVD where the substrate acts as a cathode |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2338716(A) |
申请公布日期 |
1999.12.29 |
| 申请号 |
GB19990014950 |
申请日期 |
1999.06.25 |
| 申请人 |
JAMES ANDREW * MCLAUGHLIN;JOHN MCCUNE * ANDERSON;PAUL DAMIAN * MAGUIRE |
发明人 |
JAMES ANDREW * MCLAUGHLIN;JOHN MCCUNE * ANDERSON;PAUL DAMIAN * MAGUIRE |
| 分类号 |
C30B23/08;A61L27/30;A61L29/10;A61L31/08;C23C14/06;C23C16/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/509;C23C16/54;C30B29/04;C30B30/02;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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