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发明名称
Apparatus for processing workpieces
摘要
申请公布号
GB9929610(D0)
申请公布日期
2000.02.09
申请号
GB19990029610
申请日期
1998.06.25
申请人
TRIKON EQUIPMENTS LIMITED
发明人
分类号
B65G49/07;H01L21/00
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
主权项
地址
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