产生粒子少的光刻胶组合物的制造方法

摘要

提供了一种制造具有低倾向生成粒子的光刻胶组合物的方法，其中光刻胶组合物经额定值为约0.05—0.50微米的过滤器过滤，用酸性阴离子交换树脂和加热到温度约35℃—90℃进行处理，然后再次用额定值约0.05—0.50微米的过滤器过滤。

主权项

权利要求书1．制造光刻胶组合物的方法，该方法包括：a)在光刻胶溶剂中混合成膜树脂和光敏化合物，从而得到光刻胶组合物；b)将由a)步得到的光刻胶经额定值约0．05微米-0．50微米的过滤器过滤；c)用酸性阳离子交换树脂处理由b)步得到的光刻胶组合物，将光刻胶组合物加热到温度约35℃-90℃；以及d)将由c)步得到的光刻胶组合物经额定值为约0．05-0．50微米的过滤器过滤。