| 摘要 |
본 명세서에서 서술되는 실시예들은 기판 프로세싱 시스템 내에서 유체를 전달하는 어플리케이션을 제시한다. 보다 구체적으로, 본 명세서에서 서술되는 실시예들은 기판 프로세싱 시스템 내에서 프로세싱 화학제의 전달을 위한 어플리케이션을 제시한다. 일 실시예에서는 유체 전달 시스템이 제시된다. 이러한 유체 전달 시스템은 유체를 공급하기 위한 벌크 유체 공급원, 상기 벌크 유체 공급원으로부터 유동하는 유체의 비율을 제어하고 모니터링하기 위한 유체 전달 모듈, 상기 유체 전달 모듈로부터 하류에 위치하는 제1 스트림 라인, 상기 제1 스트림 라인을 따라 위치하는 제1 스위치, 상기 유체 전달 모듈로부터 하류에 위치하는 제2 스트림 라인, 상기 제2 스트림 라인을 따라 위치하는 제2 스위치를 포함하고, 상기 유체 전달 모듈이 미리 결정된 비율에 따라서 제1 스트림 라인 및 제2 스트림 라인을 통해 유동하는 2개의 스트림으로 상기 벌크 유체 공급원으로부터의 유체를 분할한다. |
