基板温度测定单元

摘要

1.本外观设计产品的名称为基板温度测定单元。2.本外观设计产品是在对基板进行处理的基板处理装置中，设置于被处理基板的载置部并用于测定被处理基板的温度的基板温度测定单元。本外观设计产品由板状部件和相对于该板状部件通过片状部件固定的铠装热电偶构成。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图为最能表明设计要点的视图。