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发明名称
FORMATION OF INSULATING FILM ONTO SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPS5399769(A)
申请公布日期
1978.08.31
申请号
JP19770014478
申请日期
1977.02.12
申请人
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE
发明人
FURUKAWA YOSHITAKA;KAWAKAMI GOUJI;IWANE GANZOU
分类号
H01L21/316
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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