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发明名称 LICHTELEKTRISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG.
摘要
申请公布号 AT60672(T) 申请公布日期 1991.02.15
申请号 AT19870118905T 申请日期 1987.12.19
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 MICHEL, DIETER, DIPL.-ING. (FH);PARRIAUX, OLIVIER, DR.;VOIRIN, GUY, DR.
分类号 G01B11/00;G01B11/02;G01D5/38;G05D5/04;G05D25/02;H01L21/68;H01M2/34;(IPC1-7):G05D5/04 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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