Process for producing a semiconductor wafer,申请号EP19920309006-传众专利搜索

发明名称	Process for producing a semiconductor wafer
摘要
申请公布号	EP0536958(B1)	申请公布日期	1997.01.15
申请号	EP19920309006	申请日期	1992.10.02
申请人	SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD	发明人	OTOKAWA, TAKAO;ISUDA, NOBUHIRO;USHIO, SATOSHI;TAKENAKA, TAKAO
分类号	C30B15/20;C30B15/00;C30B33/00;C30B33/02;H01L21/322;(IPC1-7):C30B15/00;C30B29/06	主分类号	C30B15/20
代理机构		代理人
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