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发明名称 Method of manufacturing multilayer interconnection structure
摘要
申请公布号 GB2295723(B) 申请公布日期 1997.03.19
申请号 GB19950024382 申请日期 1995.11.29
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 AKIRA * ISOBE
分类号 H01L21/302;H01L21/26;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/310 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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