发明名称 Verfahren zur Herstellung einer laminierten piezoelektrischen Anordnung und Polarisationsverfahren und vibrationswellengetriebener Motor
摘要
申请公布号 DE69315767(D1) 申请公布日期 1998.01.29
申请号 DE19936015767 申请日期 1993.08.24
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MARUYAMA, YUTAKA, OHTA-KU, TOKYO 146, JP
分类号 H01L41/083;H01L41/09;H02N2/16;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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