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发明名称
Verfahren zur Herstellung einer laminierten piezoelektrischen Anordnung und Polarisationsverfahren und vibrationswellengetriebener Motor
摘要
申请公布号
DE69315767(D1)
申请公布日期
1998.01.29
申请号
DE19936015767
申请日期
1993.08.24
申请人
CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
MARUYAMA, YUTAKA, OHTA-KU, TOKYO 146, JP
分类号
H01L41/083;H01L41/09;H02N2/16;(IPC1-7):H01L41/09
主分类号
H01L41/083
代理机构
代理人
主权项
地址
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