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发明名称 Vorrichtung zur Positionsdetektion
摘要
申请公布号 DE69502789(T2) 申请公布日期 1998.10.01
申请号 DE19956002789T 申请日期 1995.09.29
申请人 SONY PRECISION TECHNOLOGY, INC., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATUYAMA, YASUHIKO, NAGASAKI-SHI, NAGASAKI 852, JP
分类号 G01B7/00;G01D5/244;G01D5/245;H02J3/26;(IPC1-7):G01D5/244;G01D3/02 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
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