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发明名称 Verfahren zur Steuerung von Diffusionsprozessen in festem Material, insbesondere zur Dotierung und Reinigung von Halbleitern
摘要
申请公布号 CH335765(A) 申请公布日期 1959.01.31
申请号 CHD335765 申请日期 1954.02.23
申请人 GOERCKE,PAUL,PROF. DIPL.-ING. 发明人 DIPL.-ING. GOERCKE,PAUL,PROF.
分类号 C30B31/02;H01L21/00 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
主权项
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