发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN MICRO-CAPTEUR EN SILICIUM USINE
摘要
申请公布号 FR2763745(B1) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 FR19970006333 申请日期 1997.05.23
申请人 SEXTANT AVIONIQUE 发明人 LEFORT OLIVIER;THOMAS ISABELLE
分类号 B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;G01P15/125;(IPC1-7):H01L49/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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