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发明名称 THIN FILM CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH11233732(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980031192 申请日期 1998.02.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAWAKUBO TAKASHI;SANO KENYA
分类号 H01G4/12;H01G4/33;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/824 主分类号 H01G4/12
代理机构 代理人
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