发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SUBMIKROMETRISCHEN ÜBERGANGSMETALLKARBONITRIDEN
摘要
申请公布号 DE963359(T1) 申请公布日期 2000.05.04
申请号 DE19980906710T 申请日期 1998.02.25
申请人 OMG AMERICAS, CLEVELAND 发明人 DUNMEAD, STEPHEN;WEIMER, ALAN
分类号 C04B35/56;C01B21/082;C01G41/00;(IPC1-7):C04B35/58;C04B35/622 主分类号 C04B35/56
代理机构 代理人
主权项
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