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发明名称
摘要
申请公布号
JP2001526736(A)
申请公布日期
2001.12.18
申请号
JP19980550688
申请日期
1998.05.21
申请人
发明人
分类号
C23C14/34;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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