发明名称
摘要
申请公布号 JP2001526736(A) 申请公布日期 2001.12.18
申请号 JP19980550688 申请日期 1998.05.21
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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