发明名称 用于供给药液的泵单元
摘要 本发明提供一种用于供给药液的泵单元,可以对泵和泵前后的各开关阀进行单元化来实现小型化,能够在泵单元的药液流路中减少气泡或药液的滞留。泵单元(10)是在泵(11)(泵壳体21,22)上一体地组装有一体设有吸入侧截流阀(13)的吸入侧流路部件(17)、和一体设有排出侧截流阀(14)的排出侧流路部件(18)而形成的。与泵室(25)连通的吸入通道(17a,21b)和排出通道(18a,21c)处于同一直线(L1)上。
申请公布号 CN100562664C 申请公布日期 2009.11.25
申请号 CN200580028994.7 申请日期 2005.07.29
申请人 CKD株式会社;奥特克株式会社;东京毅力科创株式会社 发明人 奥村胜弥;荒川和弘;伊藤重伸
分类号 F04B53/10(2006.01)I;F04B43/06(2006.01)I;B05C11/10(2006.01)I;F04B53/06(2006.01)I;F04B43/02(2006.01)I;F04B53/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I 主分类号 F04B53/10(2006.01)I
代理机构 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 代理人 余 朦;方 挺
主权项 1.用于供给药液的泵单元,包括:泵,具有进行药液的排出、吸入的泵室;吸入侧开关阀,与所述泵室连通,用于对将所述药液吸入到所述泵室的吸入通道进行开关;和排出侧开关阀,与所述泵室连通,用于对将所述药液从所述泵室排出的排出通道进行开关,其特征在于:所述吸入侧开关阀和所述排出侧开关阀分别包括阀体、和与所述进行开关的通道分隔,并通过气体使阀体开闭动作的作动部,所述吸入通道和所述排出通道共同呈大致直线状而配置在同一直线上,所述泵、所述吸入侧开关阀和所述排出侧开关阀组装为一体,所述用于供给药液的泵单元具有:吸入侧流路部件,一体地组装有所述吸入侧开关阀;和排出侧流路部件,一体地组装有所述排出侧开关阀,具有所述泵的泵壳体为内部具有构成所述泵室一部分的隔膜的薄型扁平形状,所述吸入侧流路部件和所述排出侧流路部件均呈棒状,沿着所述泵壳体的扁平方向分别配置,所述吸入侧开关阀和所述排出侧开关阀在正交于所述吸入侧流路部件和所述排出侧流路部件的方向沿着所述泵壳体的扁平方向分别配置。
地址 日本爱知县