用于膜沉积的方法和装置

摘要

一种用于向具有多个贯穿孔道的基材例如蜂窝结构施涂均匀膜涂层的方法和装置，其中，贯穿孔道的平均直径小于或等于3毫米。该方法包括向基材提供包含成膜材料的液体前体，并且施加跨基材的压差。该压差使得液体前体均匀地行进通过贯穿孔道，在贯穿孔道的壁上沉积成膜材料，并且在贯穿孔道的壁上形成膜。该装置包括能够固定基材并且能够保持跨多个贯穿孔道的压差的室。

主权项

1.一种用于沉积膜的装置，该装置包括：a.液体前体源；b.室，该室包括：i.适合于支撑基材的中央部分，该基材具有第一端、第二端、以及从第一端延伸通过基材至第二端的多个贯穿孔道；ii.与接触基材第一端的中央部分相邻的进口部分，其中，该进口部分与液体前体源以及基材第一端流体连通，该进口部分能够向基材第一端提供液体前体的均匀分布；iii.与基材第二端相邻且流体连通的出口部分，其中，该出口部分能够从基材第二端提供流体的均匀排出以及从室移出流体；c.与室相连的加压系统，其中，该加压系统通过多个贯穿孔道在第一端和第二端之间提供压差。