加热平台

摘要

〔课题〕提供一种可以高温加热晶圆等的被加热物的同时，可防止在加热中因不纯物的发生所导致的被加热物的污染的加热平台。〔技术内容〕一种加热平台，具备：具备可载置被加热物的平坦的平台部的同时，具有与该平台部连续，被收纳于其内部作为加热手段的复数灯泡的圆筒部的玻璃制构件；及具有圆筒部及底面部，在内部形成减压状态或是充填有不活性气体，并可与玻璃制构件组装成一体而构成内部空间的金属制构件。