曝光装置及元件制造方法

摘要

提供一种曝光装置，可以所希望的状态进行液体的供给及回收，且可抑制投影至基板上的图案像的劣化。曝光装置具备喷嘴构件(70)，及防振机构(60)。喷嘴构件(70)具有供给液体(LQ)的供给口(12)与回收液体(LQ)的回收口(22)。防振机构(60)是相对于主柱(1)的下侧段部(7)防振支撑着喷嘴构件(70)。