| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING A PELLICLE, AND A PELLICLE |
| 摘要 |
펠리클을 제조하는 장치가 개시되며, 상기 장치는: 필름에 응력을 가하는 응력 조립체; 및 기판을 지지하는 기판 지지체를 포함하고, 응력 조립체 및 기판 지지체는 필름에 응력이 가해지는 경우에 기판이 필름과 접촉하게 되도록 상대 이동할 수 있다. |
| 申请公布号 |
KR20160094437(A) |
申请公布日期 |
2016.08.09 |
| 申请号 |
KR20167017926 |
申请日期 |
2014.11.19 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
JANSEN MAARTEN MATHIJS MARINUS;ARIAS ESPINOZA JUAN DIEGO;DE KUSTER JOHANNES PETERUS HENRICUS |
| 分类号 |
G03F1/00;G03F1/24;G03F1/62;G03F1/66;G03F7/20 |
主分类号 |
G03F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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