| 摘要 |
본 발명은 부유대역법(FZ법), 또는 쵸크랄스키법(CZ법)의 리차지에 사용되는 다결정 규소 로드에 있어서, 직통부가 반송 용이한 형상으로 되어 있고, 반송성이 우수한 다결정 규소 로드를 제공한다. 본 발명의 다결정 규소 로드는 전극 상에 세워 설치된 한쌍의 규소 막대, 및 규소 막대의 한쪽 말단을 연결하는 가교부를 포함하는 규소 코어재에, 화학 기상 석출법에 의해 규소를 석출ㆍ성장시켜 얻어지는 다결정 규소 로드에 있어서, 전극 상에 세워 설치되어 있는 상기 규소 로드의 직통부에는, 길이 방향으로 직경 분포를 갖고 있고, 최소 직경이 최대 직경의 60 내지 95％의 크기로 조정되어 있는 것을 특징으로 한다. |
