发明名称 |
Vorrichtung und System zur Handhabung ausgerichteter Waferpaare |
摘要 |
Eine für den industriellen Einsatz geeignete Vorrichtung und ein System zur Handhabung präzise aufeinander ausgerichteter und zentrierter Halbleiter-Waferpaare für Wafer-zu-Wafer-Ausrichtungs- und -Bondungsanwendungen weist einen Endeffektor mit einem Rahmenelement und einem schwimmenden Träger auf, der mit dem Rahmenelement, mit einem dazwischen ausgebildeten Spalt, verbunden ist, wobei der schwimmende Träger einen halbkreisförmigen Innenumfangsrand hat. Die zentrierten Halbleiter-Waferpaare sind unter Verwendung des Endeffektors unter robotischer Steuerung innerhalb eines Verarbeitungssystems positionierbar. Die zentrierten Halbleiter-Waferpaare werden ohne Gegenwart des Endeffektors in der Bondungsvorrichtung miteinander verbondet. |
申请公布号 |
DE102016108787(A1) |
申请公布日期 |
2016.11.17 |
申请号 |
DE201610108787 |
申请日期 |
2016.05.12 |
申请人 |
SUSS MicroTec Lithography GmbH |
发明人 |
Johnson, Hale;George, Gregory |
分类号 |
H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|