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发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH04160087(A) 申请公布日期 1992.06.03
申请号 JP19900281626 申请日期 1990.10.19
申请人 KOMATSU DENSHI KINZOKU KK 发明人 NODA HIROYUKI;NIIKURA HIROSHI;KUROSAKA SHOEI;IMAI MASATO
分类号 C30B15/00;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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