| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INTEGRATED MICROSTRUCTURE OF SEMICONDUCTOR MATERIAL AND INTEGRATED MICROSTRUCTURE OF SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10163168(A) |
申请公布日期 |
1998.06.19 |
| 申请号 |
JP19970206704 |
申请日期 |
1997.07.31 |
| 申请人 |
SGS THOMSON MICROELETTRONICA SPA |
发明人 |
FORONI MARIO;FERRARI PAOLO;VIGNA BENEDETTO;VILLA FLAVIO |
| 分类号 |
G01L1/18;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L9/00;G01P15/02;G01P15/08;H01L21/306;H01L21/764;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
G01L1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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