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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1143768(A) 申请公布日期 1999.02.16
申请号 JP19970215994 申请日期 1997.07.24
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJINAMI YASUSHI;EBE AKINORI;IMAI OSAMU
分类号 C23C14/48;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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